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荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

簡要描述：ISTEQ公司開發(fā)了一種基于激光產(chǎn)生等離子體（LPP）的EUV光源。該光源具有ji高的亮度和ji高的穩(wěn)定性。它采用可自刷新的材料，無需中斷和更換燃料盒，因此持續(xù)運(yùn)行時間極長。
ISTEQ公司為LPP光源開發(fā)的燃料是針對特定應(yīng)用的光譜范圍而設(shè)計的。然而，對于掩模檢查的應(yīng)用，公司開發(fā)了一種高頻錫旋轉(zhuǎn)靶，已在全球范圍內(nèi)獲得專li。荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

  • 產(chǎn)品型號：TEUS S-100
  • 更新時間：2024-08-07
  • 訪  問  量：1021

產(chǎn)品簡介

品牌其他品牌價格區(qū)間10萬-15萬
照射方式內(nèi)照式光源種類氙燈光源
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,航天,電氣

詳細(xì)介紹

荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

產(chǎn)品介紹：

ISTEQ公司開發(fā)了一種基于激光產(chǎn)生等離子體（LPP）的EUV光源。該光源具有ji高的亮度和ji高的穩(wěn)定性。它采用可自刷新的材料，無需中斷和更換燃料盒，因此持續(xù)運(yùn)行時間極長。

ISTEQ公司為LPP光源開發(fā)的燃料是針對特定應(yīng)用的光譜范圍而設(shè)計的。然而，對于掩模檢查的應(yīng)用，公司開發(fā)了一種高頻錫旋轉(zhuǎn)靶，已在全球范圍內(nèi)獲得專li。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

·高亮度以及出色的穩(wěn)定性

·最少的碎片

·ji高的正常運(yùn)行時間

·高占空比和交鑰匙操作

·用戶友好的自動化協(xié)議，確保系統(tǒng)平穩(wěn)運(yùn)行，沒有中斷的風(fēng)險。

產(chǎn)品應(yīng)用：

·掩模和表面檢查：

·圖案掩模檢測 (PMI)

·區(qū)域掩模檢測 (AIMS)

·掩?？瞻讬z測 (MBI)

·EUV 掃描儀檢

·材料科學(xué)

·晶圓檢查


     TEUS 系列激光等離子體光源

型號參數(shù)：

型號

TEUS S-100

TEUS S-200

TEUS S-400

激光平均功率100

400



脈沖重頻25或50或100或EUV功率立體角0.05




等離子體尺寸m

60或≤ 4≤  (13.5 nm±2 % @2π·sr or 1.6% @2π·sr


碎片處理系統(tǒng)后角內(nèi)光通量11 或22 或44 或W/mm2·sr

 80或≥≥  280

 310或≥ 3% rms


在10%

不少于4個月

不少于24/7運(yùn)行狀態(tài)下，使用特殊膜過濾器情況下，收集器壽命下降18個月

不少于4個月

維護(hù)時間間隔

 - 1 天

 - 2天

 - 1天

***

3個月

5 kW

10.5 kW

尺寸（長×寬×高）1500×1200




重量，包括激光組件770




房間潔凈度等級

10升15升25升/分鐘


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