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當(dāng)前位置：首頁  >  產(chǎn)品中心  >  激光調(diào)制與測(cè)量  >  光學(xué)測(cè)量設(shè)備  >  SIT-200硅片厚度測(cè)量?jī)x

硅片厚度測(cè)量?jī)x

簡(jiǎn)要描述：硅片厚度測(cè)量?jī)xSIT-200由精確可調(diào)激光光源，聚焦傳感器，光學(xué)接收器組成。波長掃描光聚焦照射到目標(biāo)上，由目標(biāo)表面和背面反射光干涉形成干涉圖案，經(jīng)過聚焦傳感器后由光學(xué)探測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：SIT-200
  • 更新時(shí)間：2024-08-06
  • 訪  問  量：837

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
組件類別其他應(yīng)用領(lǐng)域電子

詳細(xì)介紹

硅片厚度測(cè)量?jī)xSIT-200

硅片厚度測(cè)量?jī)x（SIT-200）由精確可調(diào)激光光源，聚焦傳感器，光學(xué)接收器組成。波長掃描光聚焦照射到目標(biāo)上，由目標(biāo)表面和背面反射光干涉形成干涉圖案，經(jīng)過聚焦傳感器后由光學(xué)探測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)。


硅片厚度測(cè)量?jī)xSIT-200產(chǎn)品特點(diǎn)：

l  全光學(xué)，非接觸硅片厚度測(cè)試

l  高動(dòng)態(tài)范圍測(cè)量粗糙表面

l  濕法刻蝕過程中實(shí)時(shí)測(cè)量

高靈敏度         高精度           快速測(cè)量        遠(yuǎn)程控制


結(jié)構(gòu)示意圖

SIT-200

產(chǎn)品參數(shù)：

測(cè)量目標(biāo)  

硅片  

測(cè)量厚度  

10-500μm

光源  

1515-1585nm掃描

功率  

0.6mw，Class1

指示光源  

紅光，Class1M

測(cè)量時(shí)間  

20ms

重復(fù)性  

0.1μm

輸出監(jiān)控  

干擾信號(hào)（電學(xué)）  

PC接口

網(wǎng)口  

供電  

100-240V，50/60Hz

尺寸  

364 x 147 x 391mm

重量  

9kg




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